(57)要約 目的 従来の含浸法アルミナ担持白金触媒は、担体 上に表面水酸基が残存し、活性化してプロトン型の超強 酸サイトを保有し、金属白金とH サイトの二元機能触 媒の特徴を有する
白金 スパッタ-マグネトロンスパッタ装置を用いた低温成膜において、Arガス 圧力を変化させることにより、薄膜の配向性を制御できることが分 かった。特にP・Dを08 Torr・mm以上とし、スパッタ粒子のエネマグネトロン電極の採用で試料をマイルドコーティング 価格： 1,510,000円（本体）～ 取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング 特長;
白金 スパッタのギャラリー
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 | _370.bmp "F At 140 Rf Dcスパッタ堆積装置 芝浦 ナノテクノロジープラットフォーム 共用設備利用案内 Nanotechjapan Yellowpages") |  |
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スパッタリングは、チャ ンバー内雰囲気を空気(主に窒素および酸素を成分とする混合気体)として行った。 その際、チャンバー内真空 度60 Pa、放電電流値15 mA、ターゲットと試料との間隔マグネトロンスパッタの原理 粒子を飛び散らせるスパッタ技術はいくつかありますが、弊社のスパッタ装置では最もスパッタ効率の良い マグネトロンスパッタ技術 を応用しております。 その原
Incoming Term: 白金 スパッタ, sem スパッタ 白金,
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